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生产设备

气体质量流量传感器校准系统

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2017/6/2     浏览次数:    

a)产品概述
质量流量传感器校准系统适用于生产线上的终检校准,通过对小量程质量流量传感器的通讯功能测试及不同温度下的校准,确保产品精度及质量。校准流程及算法可由用户自定义配置,丰富的登录模式及权限级别设定,自动生成测试日志等,确保操作灵活且便于扩展。

c)系统功能

主要功能

描 述

用户管理

管理用户登录及操作权限,按权限高低分为管理员、工程师、技术员、线长和操作员,管理员具有最高权限,可以添加、删除和修改用户信息;

工单操作

用于创建不同温度下的工单任务,只有当前存在的工单被终止或完成时,才能创建下一个工单;

参数配置

用于工程师对校准或测试参数进行配置;

模式选择

提供生产模式、工程师模式以及校验模式共三种工作模式;

错误日志浏览

为用户提供按时间查询的错误日志浏览;

数据存储

自动存储测试过程数据。

d)特性详解
兼容多种信号输出类型的传感器——

信号类型

输出方式

模拟量

电压信号

数字量

IIC通讯信号

SPI通讯信号

PWM脉冲信号

温度可控范围宽,稳定性优异——可实现-20℃~100℃范围内不同温度点的精确控制,温度控制精度为 1℃,目标温度下的温度波动度为 0.2℃;
良好的气路密封性——采用钢质气管,采用少接头设计,确保系统密封性。图示是使用同一传感器夹具进行5次(用不同颜色的曲线代表)泄漏测试时的泄漏率。(单位为sccm/s,测试压力为2.5psi,保压时间 20s,每个传感器夹具包含4条气路)

高测试校准精度——气体流量控制精度达 1sccm,温度控制精度 1℃。
高测试效率——系统可同时对32个被测件进行操作,8路总线并行的设计方法和温度的快速稳定为Cycle Time节约了大量时间,达到160 DUTs/h,满足生产线节拍的要求。
测试校准稳定可靠——GRR实验数据良好。图示为校准200sccm量程的传感器时不同流量点下(50/100/160/200sccm)的GRR数据,均<10%。

便于维护——设计了专门的探针模块用于从传感获信号点获取信号,损坏时更该模块即可;气路装拆方便;继电器状态通过指示灯显示,指示直观。
完善的安全机制——智能流程判断;提供急停等安全操作机制,在系统出现突发状况时对人及设备形成保护。
e)运行环境及系统指标

项目

描述

系统指标

流量范围

0~1000sccm/0~200sccm可选

节拍

160件/小时,32件并行测试

物理尺寸 
(W D H)

温控箱外形尺寸:2300 1430 1960mm

热流机外形尺寸: 610 991 1303mm(Max.) 
(热流机与温控箱距离不超过2m)

运行环境

运行环境

温度:0~50℃;湿度:35%~80%;

供电要求

AC 220V,50Hz

校准平台、热流机供电

AC 380V,50Hz

温控箱供电

供气要求

2.0bar

校准供气,干燥、纯净的氮气

5.0bar

气缸供气,干燥的压缩空气

90~100psi

热流机供气,干燥的压缩空气


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